微导纳米：ALD设备已在集成电路制作前道生产线完成量产获得客户重复订单

  金融界9月6日音讯，有投入资金的人在互动渠道向微导纳米发问：您好，请问公司ALD设备在FAB厂商的验证和使用情况如何，半导体范畴的在手订单中有多少是ALD，有多少是CVD的。

  公司答复表明：公司是国内首家成功将量产型High-k原子层堆积（ALD）设备使用于集成电路制作前道生产线的国产设备厂商，ALD产品既有批量型也有单片型，单片型ALD设备已获得多种工艺设备的重复订单并获得部分客户的检验；批量型ALD已获得客户检验，完成产业化使用，并获得重复订单。公司在坚持ALD设备身先士卒的优势的一起，加快推行CVD产品，该系列部分产品在2023年7月首台设备出货后，现在现已获得客户批量重复订单，客户端验证顺畅。